一种利用PDMS工艺解决SU-8去胶问题的方法

• 作者: 刘景全 张金娅 朱军 李建华 陈迪
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SU-8去胶 电铸 PDMS 金属模具 高深宽比微结构
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 899-903
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.05.010

摘要

提出了一种解决SU-8去胶难题的方法.该方法首先将SU-8微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模具.通过该方法制备得到了深宽比达到10的金属模具,而且模具表面光滑,侧壁垂直.