单侧耦合16×0.8nm阵列波导光栅的设计、制备及测试

• 作者: 夏君磊 安俊明 李健 王红杰 胡雄伟
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 相位阵列 波分复用
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 254-257
• 页数: 4页
• 分类号: TN25
• 字数: 823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.007

摘要

介绍了一种新型16通道、100GHz通道间隔的硅基二氧化硅单侧耦合阵列波导光栅(AWG).通过增加一个Y分支波导结构,并且将AWG的输入、输出波导等间距整齐排列,实现了仅用一个光纤阵列进行AWG器件的耦合封装.这种AWG的结构设计可以有效地减小器件尺寸,增加波导结构的弯曲半径,减少器件抛光及耦合时间,并降低器件成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏君磊	中国科学院半导体研究所	11	27	3.0	4.0
2	安俊明	中国科学院半导体研究所	45	77	5.0	6.0
3	王红杰	中国科学院半导体研究所	32	93	6.0	7.0
4	胡雄伟	中国科学院半导体研究所	41	134	6.0	9.0
5	李健	中国科学院半导体研究所	92	1070	17.0	31.0