基于MEMS技术的微波(RF)滤波器的设计

• 作者: 乔东海
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 射频滤波器 MEMS器件 薄膜体声波谐振器 滤波器设计
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 158-160
• 页数: 3页
• 分类号: TN015|TN454
• 字数: 3028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.053

摘要

微波MEMS(RF-MEMS)滤波器是一种基于硅微加工技术的新型器件.由于RF-MEMS器件具有体积小、承受功率大、性能优良、成本低以及易于与后续的电路集成等突出优点,因此,由薄膜体声波谐振器(FBAR)构成的RF-MEMS滤波器在微波通讯系统的射频前端将取代传统的声表面波(SAW)滤波器.从以MEMS技术制作的薄膜体声波谐振器(FBAR)为基本单元构成梯子式(Ladder type)射频滤波器的原理出发,对滤波器的性能和设计进行分析,并对实际滤波器中的问题进行了较详细的探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔东海	中国科学院声学研究所	25	166	8.0	11.0