(Pb,La)TiO3铁电薄膜微结构与制备工艺研究

• 作者: 于光龙 吴家刚 朱基亮 朱建国 肖定全 袁小武
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频磁控溅射 铁电薄膜 (Pb,La)TiO3 XRD XPS SEM
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1701-1703
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2253字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.11.017

摘要

采用射频磁控溅射技术在室温淀积、其后在700℃下退火10min,制备了(Pb,La)TiO3(简记为PLT)铁电薄膜.利用XRD研究了薄膜的结晶性;利用XPS研究了薄膜表面的化学成分、组分以及表面原子的化学价态;利用SEM研究了薄膜的断面.薄膜结构分析结果表明,在一定的制备工艺条件下,薄膜制备时间的长短对薄膜结晶性能的影响不大;XPS波谱分析表明,所测得的元素有Pb、La、Ti、O和C,其中C元素是薄膜在制备或测试过程中的污染,薄膜中没有其它杂质元素;由断面的SEM分析可知,在本论文采用的制备工艺条件下,薄膜与基底之间基本上没有互扩散,薄膜与基底的界面比较清楚.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱基亮	四川大学材料科学系	22	85	4.0	8.0
2	肖定全	四川大学材料科学系	178	2267	24.0	42.0
3	朱建国	四川大学材料科学系	124	1424	17.0	35.0
4	于光龙	四川大学材料科学系	11	59	5.0	7.0
5	吴家刚	四川大学材料科学系	20	42	4.0	5.0
6	袁小武	四川大学材料科学系	12	52	4.0	7.0