用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究

• 作者: 刘泽文 刘理天 方杰 李志坚 陈忠民
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 射频 MEMS 无源滤波器 集总模型
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 173-175
• 页数: 3页
• 分类号: TN385|TN713
• 字数: 1262字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.059

摘要

介绍了一种利用MEMS工艺实现的用于射频领域的无源LC低通滤波器的设计、仿真和制作.该低通滤波器(LPF)采用三阶Chebyshev最少电容原型结构,设计参数为:一3dB带宽为3GHz,插入损耗小于2dB.基于MEMS无源元件(电容和电感)的集总物理模型,实现了对LPF实际性能的等效电路仿真,同时进行了版图和结构的验证.利用MEMS工艺实现的低通滤波器,其一3dB带宽和通带内插入损耗分别为2.925GHz和1.2dB(在1GHz下),制作工艺与标准CMOS工艺兼容.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天		230	1519	19.0	23.0
2	刘泽文		50	169	7.0	10.0
3	李志坚		84	451	11.0	15.0
4	陈忠民		7	11	2.0	3.0
5	方杰		4	4	1.0	2.0