SnO2:Sb薄膜的制备和光致发光性质

• 作者: 余旭浒 张锡健 王玉恒 计峰 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2:Sb薄膜 射频磁控溅射 光致发光
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 922-926
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 2125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.05.014

摘要

用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2:Sb薄膜.制备样品为多晶薄膜,具有纯氧化锡的四方金红石结构和(110)择优取向,Sb离子以替位式掺杂的形式存在于SnO2晶格中.室温条件下对样品进行光致发光测量,在392nm附近观测到强的紫外-紫光发射,发射强度随制备功率的增加而增强,且样品退火后发射强度也明显增强.紫外-紫光发射的起源被归于由Sb形成的施主能级和受主能级之间的电子跃迁.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	计峰	山东大学物理与微电子学院	23	185	7.0	13.0
3	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
4	余旭浒	山东大学物理与微电子学院	11	144	6.0	11.0
5	张锡健	山东大学物理与微电子学院	18	195	7.0	13.0
6	王玉恒	山东大学物理与微电子学院	10	142	6.0	10.0