TiO2薄膜制备及其氧敏特性

• 作者: 孙以材 孟凡斌 戴振清 李国玉 潘国峰
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 TiO2薄膜 氧敏特性 激活能
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 324-328
• 页数: 5页
• 分类号: TN03
• 字数: 2311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.020

摘要

采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜,在不同温度下对薄膜进行退火,研究了薄膜晶体结构随退火温度的转化情况.对TiO2薄膜氧敏器件特性进行了测试,结果表明,在400℃下灵敏度随氧分压增加最快,并且在400℃具有最高的灵敏度.得到的激活能为0.41eV,并对TiO2薄膜氧敏器件的氧敏可逆性进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子研究所	117	1247	18.0	31.0
2	潘国峰	河北工业大学微电子研究所	70	462	10.0	18.0
3	戴振清	河北工业大学微电子研究所	9	21	2.0	4.0
7	孟凡斌	河北工业大学微电子研究所	32	328	10.0	17.0
8	李国玉	河北工业大学微电子研究所	4	170	4.0	4.0