980nm垂直腔面发射激光器的研制

• 作者: 杜金玉 沈光地 渠红伟 董立闽 达小丽 邓军 郭霞
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 内腔接触 湿氮氧化
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 129-131
• 页数: 3页
• 分类号: TN248
• 字数: 1553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.z1.034

摘要

采用低压金属有机化合物气相外延生长技术,应用AlAs/AlGaAs选择性湿氮氧化工艺实现光、电限制,制备出具有一定性能的980nm内腔接触式氧化物限制型顶发射980nm垂直腔面发射激光器(VCSEL).通过制备不同氧化孔径尺寸的VCSEL,分析了氧化孔径尺寸大小对器件的阈值电流和串联电阻的影响.获得的最小阈值电流为0.8mA,最大光输出功率达8mW.