微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析

• 作者: 唐洁影 方绪文 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 悬臂梁 冲击 分布参数
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 379-384
• 页数: 6页
• 分类号: TN402
• 字数: 2694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.031

摘要

分析了微加工悬臂梁在横向冲击下的响应.将悬臂梁看作一个质量分布参数系统,利用模态叠加法计算悬臂梁在冲击下的位移和应力分布,并根据位移和应力的最大值判断悬臂梁可能的失效模式,从而为MEMS器件的可靠性设计提供依据.