采用MEMS技术制作的螺线管电感

• 作者: 周勇 王西宁 赵小林 陈吉安 雷冲 高孝裕
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电感量 微机电系统 品质因子
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1083-1086
• 页数: 4页
• 分类号: TM55
• 字数: 592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.06.003

摘要

采用微机电系统技术制作了螺线管电感.为了获得高电感量和Q值,采用UV-LIGA、干法刻蚀、抛光和电镀技术,研制的电感大小为1500μm×900μm×70μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为3.5:1.测试结果表明电感量最大值为6.17nH,Q值约为6.