箔式锰铜传感器的新进展

• 作者: 周鸿仁 崔红玲 杜晓松 杨邦朝 滕林
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 箔式锰铜传感器 Al2O3薄膜 动态高压测试
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1957-1958
• 页数: 2页
• 分类号: TP212
• 字数: 1505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.12.043

摘要

箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa.而采用绝缘封装层为A12O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限.动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55.32GPa,压阻系数为0.0272,传感器的延续时间可达2.5μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松	电子科技大学电子工程学院电子实验中心	61	434	12.0	16.0
2	杨邦朝	电子科技大学电子工程学院电子实验中心	253	3422	31.0	49.0
3	滕林	电子科技大学电子工程学院电子实验中心	16	88	5.0	9.0
4	周鸿仁	电子科技大学电子工程学院电子实验中心	12	60	5.0	7.0
5	崔红玲	电子科技大学电子工程学院电子实验中心	16	163	5.0	12.0