PbTiO3薄膜生长的Monte Carlo模拟Ⅱ:模拟结果与讨论

• 作者: 于光龙 朱基亮 朱建国 肖定全 芦苇
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 生物学
• 关键词: Monte Carlo模拟 薄膜生长 PbTiO3薄膜 氧化物
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1535-1537
• 页数: 3页
• 分类号: Q48
• 字数: 3045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.10.017

摘要

根据本文作者提出的基于Monte Carlo方法模拟多元氧化物薄膜生长的三维模型及模拟算法(详见另文),编制了模拟软件,并以PbTiO3薄膜为例模拟了多元氧化物薄膜生长初期的表面形貌.模拟中选定两个输入参数为沉积速率和沉积温度,并根据相关研究报道的实验条件,分别取沉积速率处于0.1～0.001nm/s之间,沉积温度处于800～1000K之间.模拟结果表明,在薄膜生长的初始阶段,沉积速率和沉积温度对薄膜形貌的影响很大,随着沉积速率的降低和沉积温度的升高,初始凝聚岛的面积增大,总的岛的数目减小;在较低的沉积速率和较高的沉积温度条件下更容易得到薄膜的层状生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱基亮	四川大学材料科学系	22	85	4.0	8.0
2	肖定全	四川大学材料科学系	178	2267	24.0	42.0
3	朱建国	四川大学材料科学系	124	1424	17.0	35.0
4	于光龙	四川大学材料科学系	11	59	5.0	7.0
5	芦苇	四川大学材料科学系	3	16	2.0	3.0