N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究

• 作者: A.Miotello L.Guzman M.Adami 刘爱华 吕国华 张庆刚 张运海 满宝元
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子注入 聚四氟乙烯 表面改性
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 837-841
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 4015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.02.058

摘要

在剂量为1×1014-1×1017ions/cm2的范围内,在不同的温度条件下,用能量为160keV氮离子对PTFE表面进行注入处理,处理后的样品用可见(514.5nm)和傅里叶红外(1064nm)拉曼(Raman)光谱以及扫描电镜和x射线能谱仪进行检测.实验结果表明低剂量注入可以增强PTFE晶体结构的取向和有序性;中等剂量时溅射损失效应明显,表面粗糙度加大:高剂量注入时微观结构强烈地变化并生成CC双键,导致表面碳化.另外温度对表面改性效果有很大的影响.刻蚀率和表面的微观结构的变化随着温度的升高而增强.离子注入前,用喷射技术使样品覆盖一层150nm的金膜,薄膜的黏结性和硬度用划痕和透明胶带测试配合扫描电镜进行分析.分析结果表明,黏结性在注入剂量为10\{14\}ions/cm2时明显增强,这个结果与表面亲水性测量结果是一致的.但表面硬度只在温度为180℃时才得到了增强.