激光功率密度对类金刚石膜结构性能的影响

• 作者: 周传胜 张冰 彭鸿雁 李敏君 赵立新 金曾孙 陈宝玲 陈玉强
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光功率密度 类金刚石膜 性能 结构
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 4294-4299
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3991字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.09.060

摘要

采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了激光功率密度对膜的结构和性能的影响,分析了膜的紫外可见透过谱及膜的带隙结构、Raman谱和电子衍射图,结果表明随着激光功率密度由108W/cm2提高至1010W/cm2,膜的结构也由无定形非晶结构转变为纳米晶金刚石结构,膜中的sp3键舍量及各项性能均有提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李敏君	牡丹江师范学院物理系	28	58	5.0	6.0
2	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
3	张冰	牡丹江师范学院物理系	26	50	4.0	6.0
4	周传胜	牡丹江师范学院物理系	13	51	5.0	7.0
5	彭鸿雁	牡丹江师范学院物理系	29	94	6.0	8.0
6	陈玉强	牡丹江师范学院物理系	27	60	5.0	7.0
7	陈宝玲	牡丹江师范学院物理系	9	34	4.0	5.0
8	赵立新		3	16	3.0	3.0