MEMS技术的研究现状和新进展

• 作者: 张帅 贾育秦
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS MEMS 加工技术 MEMS封装技术 MEMS检测技术
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 109-112
• 页数: 4页
• 分类号: TP271+4
• 字数: 4353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2005.09.044

摘要

介绍MEMS技术几个主要方面的研究现状和最新进展:MEMS的加工技术、封装技术、检测技术.阐述MEMS技术仍面临的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾育秦		43	178	7.0	12.0
2	张帅		16	112	4.0	10.0