高阻隔碳氢膜的制备及性能研究

• 作者: 冯文然 刘元福 刘赤子 张广秋 张谷令 张越飞 杨思泽 王久丽 葛袁静 陈光良 顾伟超
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳氢膜 射频等离子体化学气象沉积法 聚对苯二甲酸乙二醇酯 阻隔性能
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 818-823
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3601字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.02.055

摘要

利用射频等离子体化学气象沉积法(r.f.PECVD),在12μm厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)上制备了碳氢膜. 用原子力显微镜(AFM),x射线光电子能谱(XPS),激光拉曼光谱,傅里叶红外光谱等仪器,对碳氢膜的表面形貌和内部结构特性进行了较详细研究. 镀碳氢膜PET的阻隔性能在标准透水蒸气测试仪上进行检测. 实验结果证明:沉积工艺参数对碳氢膜的生长速率及结构性能有重要影响;在PET上沉积的是纳米碳氢膜,该膜主要由sp2和sp3杂化的碳氢化合物组成;当PET上碳氢膜厚度为900nm时,阻水蒸气性能可提高7倍.