镍铬合金薄膜的研究进展

• 作者: 周继承 田莉
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 镍铬合金薄膜 制备工艺与设备 精密电阻 电阻应变计 电学性质
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 5-7,15
• 页数: 4页
• 分类号: TB79
• 字数: 4903字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2005.07.002

摘要

镍铬合金薄膜是重要的精密电阻和应变电阻薄膜材料.简述了镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备工艺参数以及退火工艺对薄膜性能的影响.重点叙述了镍铬合金薄膜、改良型镍铬合金膜、含氮镍铬合金膜、镍铬合金多层膜和纳米镍铬合金薄膜等膜系的特征.阐明了制备具有高电阻率、低电阻温度系数、高应变灵敏系数、良好的热稳定性等优异综合性能的镍铬合金薄膜的新工艺发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周继承	中南大学物理科学与技术学院	96	780	15.0	21.0
2	田莉	中南大学物理科学与技术学院	6	49	3.0	6.0