陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究

• 作者: 刘刚 朱学林 王俊 田扬超 郭育华
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微陶瓷器件 微陶瓷反应器 光刻 注塑
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 459-461
• 页数: 3页
• 分类号: TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.165

摘要

研究了一种制作微陶瓷器件的快捷、方便、低成本的方法.利用同步辐射曝光、深紫外曝光或者注塑的方法,制作出带有微结构的模具,加入经过处理的陶瓷粉,通过模压后,脱去基片,在1500℃烧结成形,可以得到精度在几十微米的微结构.利用该工艺制作了微陶瓷反应器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王俊	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	130	1155	16.0	27.0
2	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
3	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
4	郭育华	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	5	18	2.0	4.0
5	朱学林	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	11	73	5.0	8.0