溶胶-凝胶法制备(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜及其结构和介电性质研究

• 作者: 潘清涛 贺德衍 贾建峰 黄凯
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: (BaxSr1-x)TiO3铁电薄膜 LaNiO3底电极 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 4406-4410
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.09.081

摘要

采用改进的溶胶-凝胶方法在单晶Si(100)衬底上制备了介电性能优异的(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3 异质薄膜.实验发现,在750 ℃下、O2气氛中晶化的LaNiO3薄膜的电阻率最小.C-V与I-V特性测量表明(Ba0.7Sr0.3)TiO3薄膜具有优异的介电性能,在频率为50 kHz、零偏压下的相对介电常数εr>300,偏压为6 V时漏电流密度JL<1.2×10-6 A/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺德衍	兰州大学物理科学与技术学院	68	559	13.0	19.0
2	贾建峰	兰州大学物理科学与技术学院	3	27	2.0	3.0
3	黄凯	兰州大学物理科学与技术学院	3	7	2.0	2.0
4	潘清涛	兰州大学物理科学与技术学院	2	7	2.0	2.0