基于Petri网的半导体生产线建模

• 作者: 严隽薇 乔非 吴启迪 黄丹
• 来源期刊: 计算机工程
• 学科: 工学
• 关键词: Petri网 半导体制造 模型 建模
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 基金项目论文
• 页码范围: 69-71,133
• 页数: 4页
• 分类号: TP311.52
• 字数: 5772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2005.05.024

摘要

总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用,着重针对半导体生产线大规模、可重入、可靠性、混合加工方式、不确定性等特殊复杂性,对多种扩展Petri网模型进行了分析和比较,并进一步探讨了基于Petri网模型和扩展Petri网模型的半导体生产线建模方法,指出了存在的问题,并探讨了可能的研究方向.