射频磁控溅射法制备SnO2:Sb薄膜的结构和光致发光性质研究

• 作者: 余旭浒 张锡健 王玉恒 计峰 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SnO2:Sb薄膜 结构特征 光致发光 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 1731-1735
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3490字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.04.048

摘要

采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2:Sb)薄膜.制备薄膜是具有纯氧化锡四方金红石结构的多晶膜薄,晶粒生长的择优取向为[110].室温下光致发光测量结果表明,在392 nm附近存在强的紫外-紫光发射,研究了不同氧分压对薄膜结构及发光性质的影响,并对SnO2:Sb的光致发光机制进行了探索性研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	计峰	山东大学物理与微电子学院	23	185	7.0	13.0
3	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
4	余旭浒	山东大学物理与微电子学院	11	144	6.0	11.0
5	张锡健	山东大学物理与微电子学院	18	195	7.0	13.0
6	王玉恒	山东大学物理与微电子学院	10	142	6.0	10.0