VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究

• 作者: 侯国付 吴春亚 孙建 张晓丹 朱锋 熊绍珍 耿新华 赵颖 高艳涛 魏长春
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅 拉曼散射谱 光发射谱
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 445-449
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.01.083

摘要

采用拉曼散射光谱和PR650光谱光度计对VHF-PECVD制备的微晶硅薄膜进行了结构表征和在线监测研究.结果表明：功率对材料的晶化率(xc)有一定的调节作用,硅烷浓度大,微调作用更明显;SiH*的强度只能在一定的范围内表征材料的沉积速率,功率大相应的速率反而下降;I[Hα*]/I[SiH*]强度比值反映了材料晶化程度,此结果和拉曼散射光谱测试结果显示出一致性;I[Hβ*]/I[Hα*]的强度比表明氢等离子体中的电子温度随功率的增大而逐渐降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱锋	南开大学光电子所	13	154	7.0	12.0
2	熊绍珍	南开大学光电子所	63	380	12.0	18.0
3	吴春亚	南开大学光电子所	26	305	9.0	17.0
4	耿新华	南开大学光电子所	62	364	13.0	17.0
5	孙建	南开大学光电子所	67	311	10.0	14.0
6	赵颖	南开大学光电子所	105	1195	16.0	33.0
7	张晓丹	南开大学光电子所	57	247	7.0	14.0
8	魏长春	南开大学光电子所	24	126	6.0	10.0
9	侯国付	南开大学光电子所	23	203	9.0	13.0
10	高艳涛	南开大学光电子所	4	34	3.0	4.0