脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti,Al)N薄膜组织及其性能研究

• 作者: 冯文然 刘元富 刘赤子 张谷令 李雪明 杨思泽 王久丽 范松华 陈光良 韩建民
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲高能量密度等离子体 薄膜 纳米硬度 耐蚀性
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 1301-1305
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.03.052

摘要

利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在45#钢基材表面沉积了高硬度耐腐蚀(Ti,Al)N薄膜.利用扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱分析了薄膜的显微组织.利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度.测试了薄膜在0.5mol/L H2SO4水溶液中的耐蚀性.测试结果表明:薄膜主要组成相为(Ti,Al)N,同时含有少量的AlN,薄膜的纳米硬度高达26 GPa,薄膜具有良好的耐蚀性,与1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢相比,耐蚀性提高了一个数量级.