微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

• 作者: 徐军 王德和 董闯 邓新绿 高鹏
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 全方位离子注入 类金刚石碳膜 拉曼光谱 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 3241-3246
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.046

摘要

利用微波ECR全方位离子注入技术,在单晶硅(100)衬底上制备类金刚石薄膜.分析结果表明,所制备的类金刚石碳膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,摩擦系数小.其中,薄膜的结构和性能与氢流量比关系密切,随氢流量比的增加,薄膜的沉积速率减小,表面粗糙度降低,且生成sp3键更加趋向于金刚石结构,表面能更低,从而使摩擦系数大幅降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓新绿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	28	356	9.0	17.0
2	王德和	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	21	221	9.0	14.0
3	董闯	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	198	2023	23.0	34.0
4	高鹏	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	41	283	10.0	15.0
5	徐军	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	51	346	11.0	14.0