射频溅射功率对FeZrBCu软磁合金薄膜巨磁阻抗效应的影响

• 作者: 代由勇 刘宜华 姜山 王文静 萧淑琴 袁慧敏 陈卫平 颜世申
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁基合金 薄膜 巨磁阻抗效应
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 1821-1825
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2971字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.04.063

摘要

用射频溅射法制备了FeZrBCu软磁合金薄膜.研究了不同溅射功率对FeZrBCu薄膜软磁特性和巨磁阻抗效应的影响.用电子探针显微镜测量发现,当溅射功率为240W时,薄膜样品中Fe的原子含量为87.32％,Cu的原子含量为2.9％.这种样品的矫顽力最小,为68 A/m,饱和磁化强度约为1.11×105A/m,软磁性能最佳,巨磁阻抗效应最大,溅态膜在13 MHz最大巨磁阻抗比纵向为17％,横向为11％.重点分析了阻抗的电阻、电感分量及横向有效磁导率随频率的变化,得到在低频下主要是磁电感效应,此时磁导率对电感分量的变化起重要作用.