射频磁控溅射法生长MgxZn1-xO薄膜的结构和光学特性

• 作者: 宗福建 张锡健 王卿璞 肖洪地 计峰 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MgxZn1-xO薄膜 射频磁控溅射 Mg含量
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 4309-4312
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.09.062

摘要

用射频磁控溅射法在80℃的衬底温度下制备出MgxZn1-xO(0≤x≤0.30)薄膜.x射线衍射(XRD)结果表明,MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,没有形成任何显著的MgO分离相,MgxZn1-xO薄膜的择优取向平行于与衬底垂直的c轴;c轴晶格常数随着Mg含量的增加逐渐减小.在MgxZn1-xO薄膜的光透射谱中出现锐利的吸收边,由透射谱估算出MgxZn1-xO薄膜的带隙宽度由3.32eV(x=0)线性地增加到3.96eV(x=0.30).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	计峰	山东大学物理与微电子学院	23	185	7.0	13.0
3	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
4	肖洪地	山东大学物理与微电子学院	25	162	7.0	11.0
5	王卿璞	山东大学物理与微电子学院	32	527	13.0	22.0
6	张锡健	山东大学物理与微电子学院	18	195	7.0	13.0
7	宗福建	山东大学物理与微电子学院	13	37	5.0	5.0