靶材吸收率变化与烧蚀过程熔融前靶材温度分布

• 作者: 侯思普 关丽 张端明 李智华 李莉 谭新玉
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 吸收率 有限差分 温度演化
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 1283-1289
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 6236字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.03.049

摘要

讨论了脉冲激光沉积法中烧蚀阶段熔融前靶材吸收率的变化对于其温度分布的影响.给出了靶材吸收率随时间的变化规律,并在此基础上,利用较为符合实际的高斯分布表示脉冲激光输入能量密度,建立了相应的热传导方程.结合适当的边界条件,利用有限差分法,以硅靶材和钨靶材为例,给出了靶材熔融前温度分布随时间和深度变化的演化分布规律,同时对相关过程的物理图像进行详细的讨论.对于吸收率的变化与脉冲激光能量密度的分布对于相应过程的影响,进行了分析讨论.结果表明,在脉冲激光中间的持续过程中,忽略靶材吸收率的变化对于最终的模拟结果有重要影响,从而导致理论结果与实验数据有较大差异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李智华	华中科技大学物理系	19	171	8.0	12.0
2	张端明	华中科技大学物理系	44	322	10.0	16.0
3	李莉	华中科技大学物理系	103	904	19.0	26.0
4	谭新玉	华中科技大学物理系	4	38	3.0	4.0
5	关丽	华中科技大学物理系	10	194	8.0	10.0
6	侯思普	华中科技大学物理系	1	24	1.0	1.0