双成像单元原子力显微镜及其在大范围纳米计量中的应用

• 作者: 张冬仙 林晓峰 章海军
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双成像单元 原子力显微镜 序列图像 拼接 大范围纳米计量
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 991-993,997
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 2622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.10.001

摘要

为了实现大范围纳米计量,研制了双成像单元原子力显微镜,采用光栅作参考样品,同时对光栅和被测样品扫描成像,得到两幅具有相同横向尺度的图像,通过计算参考光栅的周期数,就能精确测定被测样品图像的尺寸.提出了一种实现大范围扫描和纳米计量的新方法,利用步进电机交替移动XY扫描器,扫描获得一系列的光栅样品图像和被测样品图像对,通过拼接对应的序列图像,可获得两幅大范围的光栅图像和被测样品图像,计数参考图像中光栅的周期数,即可测定被测图像的尺度,实现对被测图像的大范围纳米计量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冬仙	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	39	321	10.0	16.0
2	章海军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	53	454	12.0	18.0
3	林晓峰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	6	106	5.0	6.0