基于MEMS技术的自呼吸式微型直接甲醇燃料电池

• 作者: 刘理天 姜英琪 王晓红 钟凌燕
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型直接甲醇燃料电池 自呼吸 体硅腐蚀 微机电系统 微型能源
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 478-481
• 页数: 4页
• 分类号: TM911.48
• 字数: 855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.03.018

摘要

报道了一种利用MEMS技术制作的微型直接甲醇燃料电池.其特点在于,利用KOH体硅腐蚀和双面光刻工艺制作了一种独特的三维自吸氧阴极结构.分析了MEMS制作工艺的改进.实验结果表明,该电池室温下产生了2.52mW/cm2的最大功率.此性能好于国外报道的同类基于MEMS技术制作的被动式微型直接甲醇燃料电池,并同本课题组之前报道的需使用外部泵的主动式微型直接甲醇燃料电池性能相当,证明了文中提出的新结构的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子研究所	230	1519	19.0	23.0
2	王晓红	清华大学微电子研究所	21	159	8.0	11.0
3	姜英琪	清华大学微电子研究所	7	58	5.0	7.0
4	钟凌燕	清华大学微电子研究所	6	44	4.0	6.0