光干涉在光学元件面形测量中的应用

• 作者: 于瀛洁 王占芹
• 来源期刊: 物理测试
• 学科: 工学
• 关键词: 光程差 位相 干涉 相移
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TB133
• 字数: 3054字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0777.2006.02.012

摘要

干涉计量技术由于能进行全场测量、非接触、精度和灵敏度高等特点在生产和研究中得到了广泛的应用.很多情况下,被测物理量和光学位相直接相关.本文从基本概念出发,介绍了光、光程、光程差和位相,对应用位相测量光学元件面形的原理做了详细的阐述,并简要列举了现在求取位相常用的方法:时间相移法、空间相移法、载波条纹的Fourier变换法和载波条纹的时域法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	王占芹	上海大学精密机械工程系	1	8	1.0	1.0