扫描电子显微镜与原子力显微镜技术之比较

• 作者: 张海丹 林月娟 沈忠英 沈智威 陈耀文
• 来源期刊: 中国体视学与图像分析
• 学科: 医学
• 关键词: 原子力显微镜 扫描电子显微镜 表面形貌 化学成分
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 53-58
• 页数: 6页
• 分类号: TG115.21+5.3|R319
• 字数: 4558字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1482.2006.01.013

摘要

SEM和AFM技术是最常用的表面分析方法.本文介绍了SEM和AFM两种技术的原理,描述了这两种技术在样品形貌结构、成分分析和实验环境等方面的性能,比较了两种技术的特性和不足,充分利用两种技术的互补性,将两种技术结合使用,有助于更加深刻地认识样品的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林月娟	汕头大学中心实验室	8	154	4.0	8.0
2	沈忠英	汕头大学医学院	72	891	17.0	27.0
3	陈耀文	汕头大学中心实验室	85	660	10.0	23.0
4	沈智威	汕头大学中心实验室	42	326	9.0	17.0
5	张海丹	汕头大学中心实验室	8	155	4.0	8.0