无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究

• 作者: 刘海军 朱神渺 杜立群 秦江
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无背板生长工艺 微电铸 周期换向电流 均匀性
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳制造
• 页码范围: 1481-1483,1487
• 页数: 4页
• 分类号: TQ15
• 字数: 1980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.045

摘要

针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的工艺参数.实验结果表明,由于负向电流腐蚀铸层表面的微观突起,脉冲间断时间消除微电铸阴极表面的浓差极化,正负脉冲电流获得了较好的微电铸均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室	61	480	13.0	19.0
5	刘海军	大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室	16	371	12.0	16.0
9	秦江	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	5	89	4.0	5.0
10	朱神渺	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	7	110	5.0	7.0