MEMS电容式并联开关充放电产生的电磁干扰分析

• 作者: 廖小平 陆逸敏 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS电容式并联开关 电磁干扰 充电 放电 电场强度 磁场强度
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 76-78,81
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2006.01.021

摘要

MEMS并联开关是MEMS(微机电系统)的最重要的器件之一,由于其在高频状态下表现出的高隔离度及低插入损耗,以及与半导体开关相比所具有的极低的直流功耗,故在微波领域的应用越来越受到关注.本文着重分析了开关在开关时对传播的电磁信号的影响.文中给出了MEMS电容式并联开关在充放电时的电磁模型,描述了开关在充放电时的电磁场,分析了开关在充放电时产生的变化电磁场对信号的干扰情况.