高能束在气相沉积超硬薄膜材料中的应用

• 作者: 于波 段来根 葛柏青
• 来源期刊: 热处理技术与装备
• 关键词: 高能束 气相沉积 薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 述评
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4971.2006.04.002

摘要

在新型薄膜材料的制备中,利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源,辅助和诱导气相反应制备薄膜材料,克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足,显著地提高了薄膜的沉积效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段来根	常州机电职业技术学院模具技术系	13	18	3.0	4.0
2	于波	常州机电职业技术学院模具技术系	32	148	6.0	10.0
3	葛柏青	常州机电职业技术学院模具技术系	7	16	3.0	4.0