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含纳米粒子溶液对单晶硅表面的冲蚀磨损损伤实验研究
含纳米粒子溶液对单晶硅表面的冲蚀磨损损伤实验研究
作者:
徐进
雒建斌
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
单晶硅
冲蚀磨损
纳米颗粒碰撞
表面损伤
摘要:
利用高分辨透射电子显微镜和原子力显微镜观察了含纳米颗粒溶液冲蚀硅片表面损伤行为,考察了纳米颗粒碰撞单晶硅片所导致的微观物理损伤.结果表明:冲蚀30 s后,在高分辨透射电子显微镜下可见硅片表面呈现方向性损伤,并可观察到大量非均匀的晶格缺陷;当冲蚀10 min时,硅片表面出现微观划痕和凹坑,在划痕一端可见原子堆积,亚表面可观察到镶嵌晶粒的非晶损伤层;继续延长冲蚀时间将加剧其表面损伤.
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超光滑表面
单晶硅表面
化学吸附
紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工
纳米粒子碰撞下的单晶硅表面非晶相变
单晶硅表面
非晶相变
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文献信息
篇名
含纳米粒子溶液对单晶硅表面的冲蚀磨损损伤实验研究
来源期刊
摩擦学学报
学科
工学
关键词
单晶硅
冲蚀磨损
纳米颗粒碰撞
表面损伤
年,卷(期)
2006,(1)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
7-11
页数
5页
分类号
TH117.3
字数
2659字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-0595.2006.01.002
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
雒建斌
清华大学摩擦学国家重点实验室
96
1802
22.0
37.0
2
徐进
清华大学摩擦学国家重点实验室
15
359
7.0
15.0
传播情况
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纳米颗粒碰撞
表面损伤
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
摩擦学学报
主办单位:
中国科学院兰州化学物理研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-0595
CN:
62-1095/O4
开本:
大16开
出版地:
甘肃省兰州市天水中路18号
邮发代号:
54-42
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
2442
总下载数(次)
5
总被引数(次)
39808
相关基金
教育部科学技术研究项目
英文译名:
Key Project of Chinese Ministry of Education
官方网址:
http://www.dost.moe.edu.cn
项目类型:
教育部科学技术研究重点项目
学科类型:
期刊文献
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