二氧化硅基波导薄膜的制备方法

• 作者: 夏君旨 朱晓辉
• 来源期刊: 山东陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化硅基波导薄膜 制备工艺
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TQ17
• 字数: 3379字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-0639.2006.03.005

摘要

本文总结了目前制备二氧化硅基波导薄膜的各种制备工艺,包括广泛采用的等离子增强化学气相沉积法(PECVD)和火焰水解法(FHD)以及低压化学气相沉积法、溅射法、离子交换法、离子注入法和溶胶-凝胶法等制备方法,并对各种工艺的原理、特点和应用现状进行了详细的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱晓辉		13	36	4.0	5.0
2	夏君旨		13	52	4.0	7.0