适用于微型燃料电池扩散层的多孔硅的可控制备工艺研究

• 作者: 夏保佳 张宝宏 张熙贵 田娟 郑丹
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型燃料电池 扩散层 多孔硅 可控制备
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1367-1372
• 页数: 6页
• 分类号: TM911
• 字数: 3844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.06.014

摘要

多孔硅以其多孔结构及大的表面体积比等特点被认为是可在基于MEMS技术的微型燃料电池中代替碳纸、碳布作为扩散层的材料.本文考虑传统碳纸、碳布作为扩散层的要求,并结合多孔硅材料的特点,选用n〈100〉(0.04～0.15Ω·cm)单晶硅进行了多孔硅制备工艺的研究;考察了腐蚀液的浓度、电流密度和氧化处理时间对多孔硅的孔隙率、孔深度及氧化速率的影响,实现了多孔硅的可控制备.孔隙率为40%、孔径为350～700nm、厚度为60μm的多孔硅膜电极经循环伏安测定,在0.5mol/L H2SO4溶液中,表现出与碳纸相近的电活性,显示了潜在的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宝宏		74	1085	17.0	29.0
2	郑丹	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	23	36	4.0	5.0
4	田娟		5	40	4.0	5.0
5	夏保佳	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	88	559	13.0	19.0
6	张熙贵	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	28	170	8.0	12.0