沈阳成功研制我国首台自主知识产权的硅电容传感器

• 作者: 天竹
• 来源期刊: 辽宁科技参考
• 学科: 工学
• 关键词: 自主知识产权 硅电容传感器 沈阳 复合传感器 科学研究院 仪表
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 12
• 页数: 1页
• 分类号: TP212

摘要

我国首台具有自主知识产权的硅电容传感器在沈阳问世。由沈阳仪表科学研究院研制的硅电容传感器及硅复合传感器将大规模投入生产。