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热丝CVD法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进
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摘要：
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热丝辐射距离与甲烷浓度对CVD金刚石薄膜的影响
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热丝化学气相沉积
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辐射探测器
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脉冲高度分布
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
| 篇名 | 热丝CVD法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进 | ||
| 来源期刊 | 磨料磨具通讯 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 热丝CVD法 金刚石薄膜 沉积方法 灯丝 现状 高温行为 化学气相 沉积过程 综合评述 沉积膜 | ||
| 年，卷（期） | mlmjtx,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 10-14,9 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TQ637 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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热丝CVD法
金刚石薄膜
沉积方法
灯丝
现状
高温行为
化学气相
沉积过程
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沉积膜
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期刊影响力
磨料磨具通讯
主办单位：
全国磨料磨具行业情报网
郑州磨料磨具削研究所
中国机床工具工业协会超硬材料分会
中国机床工具工业协会磨料磨具分会
中国机床工具工业协会涂附磨具分会
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
河南省郑州市华山路121号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
5059
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