深亚微米飞高测量的光电检测系统设计

• 作者: 李庆祥 李玉和 王亮 陈张玮
• 来源期刊: 电测与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 高测量 近场光存储 光电检测 微弱信号
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 智能技术与非电量测量
• 页码范围: 5-7,19
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 3222字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1390.2006.03.002

摘要

基于光电传感原理,设计了用于深亚微米飞高测量的光电检测系统,采用前置放大和后级放大电路结合,设计高速高精度数据采集系统,介绍了系统控制交互界面.性能测试结果表明,该光电检测系统线性度、分辨率和动态频率均满足飞高动态测试的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	84	2180	20.0	45.0
2	李玉和	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	59	1638	16.0	40.0
3	陈张玮	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	7	222	5.0	7.0
4	王亮	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	38	471	9.0	21.0