氮掺杂氟化非晶碳薄膜的拉曼光谱结构研究

• 作者: 张云芳
• 来源期刊: 绝缘材料
• 关键词: 等离子体增强化学气相沉积 氮掺杂氟化非晶碳薄膜 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 性能研究
• 页码范围: 48-50,55
• 页数: 4页
• 分类号: TM212|TQ127.12|TQ124.3|O657.37
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9239.2006.04.014

摘要

以 CF4、 CH4和 N2的混合气体为源气体,采用 PECVD技术,在不同源气体流量比下制备了α-C:F:N薄膜.对制备的薄膜进行了真空退火处理,并对退火前后的薄膜进行了拉曼结构分析.拉曼分析表明:α-C:F:N薄膜是由 sp2和 sp3混合结构组成的非晶碳薄膜;随源气体流量比的增大,α-C:F:N薄膜中 sp2键的含量增加,交联结构加强,薄膜的热稳定性得到提高;对低流量比下沉积的薄膜,退火处理可以提高其热稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张云芳	江苏科技大学数理学院	5	38	2.0	5.0