TbDyFe-FeNi多层膜/光纤磁传感器磁敏性能实验研究

• 作者: 傅国如 吕凤军 徐志刚 斯永敏
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤磁场传感器 多层膜 干涉仪
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 419-422
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2006.04.020

摘要

采用磁控溅射工艺制备了TbDyFe-FeNi多层膜/光纤复合结构,并搭建M-Z干涉仪磁场检测系统对复合结构的磁敏性能进行试验测试.实验结果表明,在调制磁场频率为复合结构的固有频率的条件下,系统对磁场信号感应强度最大;系统输出信号大小随调制磁场强度线性增加,添置恒定直流磁场后,系统响应信号大小明显增强.在0～48 kA/m的直流磁场范围内,干涉仪(传感臂有效长度为10 cm)信号响应灵敏度为6.05×10-5rad/(√Hz·kA·m-1);当多层膜厚度增加到5 μm时,干涉仪信号响应灵敏度变为6.07×10-5rad/(√Hz·kA·m-1).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅国如		38	230	7.0	14.0
2	徐志刚		18	60	5.0	6.0
3	斯永敏	国防科技大学航天与材料工程学院	28	191	10.0	12.0
4	吕凤军		13	47	4.0	6.0