大口径光学件误差均化拼接技术

• 作者: 程刚 蒋世磊
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 子孔径拼接 大口径光学件 误差均化法 面形测量
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 118-120,129
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 1704字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.06.028

摘要

运用子孔径检测及拼接的方法可完成大口径光学件面形的干涉测量.为了能够减少子孔径拼接的误差累积与数据处理算法带来的精度影响,运用子孔径拼接的误差拼接算法,并通过对实验检测数据的处理,得到拼接结果与全孔径检测结果比较,面形波面峰谷值相差0.084(,均方根值相差0.01(,误差在Veeco光学干涉测量仪器的公差范围内.实验结果验证了误差均化算法可有效减少误差的传递与累积,实现子孔径拼接技术对大口径光学件的正确检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程刚	中国矿业大学机电工程学院	71	508	12.0	19.0
2	蒋世磊	中国科学院光电技术研究所	13	122	7.0	10.0