格兰泰勒棱镜高性能宽带减反射膜的优化设计及性能测试

• 作者: 吴福全 张霞 郝殿中 马丽丽
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 格兰泰勒棱镜 减反射膜 带宽
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 集锦
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 1109字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2006.09.012

摘要

格兰泰勒棱镜在光学领域有着重要的应用,透过比的高低和有效带宽的大小,直接影响着棱镜的品质.为了提高棱镜的透射率,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系:选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜.测试结果表明:平均剩余反射率小于0.5%,有效使用带宽在可见光区大于100 nm,达到了设计要求,提升了棱镜的品质.