一种矩形微米流道的加工与流量测定

• 作者: 李振国 郭强
• 来源期刊: 郑州大学学报（工学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 矩形微槽道 进液口 出液口 PDMS 流量
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 116-120
• 页数: 5页
• 分类号: O351.2
• 字数: 2173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6833.2006.04.028

摘要

介绍了一种比较成熟的矩形微米流道(微槽道)加工工艺,利用厚胶光刻工艺在硅片上制备胶模板,进而在该模板上用高分子聚合物PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)制作了微米量级的微槽道(高、宽范围20～100μm),对制备的微槽道的几何精确度进行了20×100倍放大显微观测,对其流量特性进行了实验测定.实验结果与泊肃叶理论公式(NS方程的管流表达式)相对比,可以看到在微米量级的矩形微流道中,泊肃叶公式仍然适用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭强	上海大学上海市应用数学和力学研究所	38	151	7.0	9.0
3	李振国	中国科学技术大学力学和机械工程系	23	217	8.0	14.0