体硅MOEMS阵列光开关的制作

• 作者: 刘彩霞 周敬然 张歆东 梁静秋 王立军 董玮 贾翠萍 陈维友
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关阵列 微光电子机械系统 微反射镜 倾斜下电极
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 制造技术
• 页码范围: 573-575,587
• 页数: 4页
• 分类号: TN25|TN929.11
• 字数: 2000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.08.004

摘要

设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成.上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列.具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点.对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题.