超灵敏检漏的实时校准

• 作者: 查良镇 肖立波 陈旭 黄天斌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 实时校准 超灵敏检漏 可变参考漏孔 静态累积模式
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TN1
• 字数: 1628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.01.014

摘要

超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa·m3/s～10-10Pa·m3/s宽范围漏率内实现了对检漏仪器的实时校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭	清华大学电子工程系	71	482	10.0	20.0
2	查良镇	清华大学电子工程系	25	295	10.0	17.0
3	黄天斌	清华大学电子工程系	3	13	2.0	3.0
4	肖立波	清华大学电子工程系	1	10	1.0	1.0