WIVS三维表面形貌测量仪

• 作者: 常素萍 谢铁邦
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉 干涉显微镜 三维表面形貌测量
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 字数: 1752字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2006.12.011

摘要

介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA 干涉显微镜的改造,研制出WIVS三维表面形貌测量仪.该仪器能够精确有效地测量Ra值为0.001～2.0μm的三维表面形貌.通过对改造前后的6JA 干涉显微镜进行性能分析,说明了WIVS三维表面形貌测量仪能够满足工程表面测量的发展要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械科学与工程学院	92	848	17.0	24.0
2	常素萍	华中科技大学机械科学与工程学院	20	145	6.0	11.0