小深孔内径电容传感测量系统的研究

• 作者: 付敬业 叶声华 徐安桃 郑义忠
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 小深孔 电容传感器 传感器标定
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 2460-2463
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 3031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.06.024

摘要

采用电容传感器测量小深孔的孔径,该系统使用直径较小的电容探针作为传感器件,电容仪器将孔径的变化转换为电压的变化,并通过USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理.论述了电容传感器的工作原理和电容仪器的转换电路的基本原理,设计了电容传感器测量小盲深孔孔径系统的总体方案,特别使用小于Ф3而大于Ф1深孔的内径自动检测,并对Ф3和7mm孔径进行了实际测量,并分析了测量所得到的数据,多次测量的标准差小于0.5 μm,测量分辨率为0.05μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐安桃		3	10	1.0	3.0
5	叶声华	天津大学测量技术与仪器国家重点实验室	292	6282	40.0	63.0
6	郑义忠	天津大学测量技术与仪器国家重点实验室	60	769	17.0	25.0
7	付敬业	军事交通学院汽车系	7	40	3.0	6.0