溶胶凝胶法制备ZAO薄膜

• 作者: 孙贤盛 沈长斌 王炜 董晓刚 薛钰芝
• 来源期刊: 大连铁道学院学报
• 学科: 化学
• 关键词: Sol-Gel ZnO Al3+离子掺杂 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: O648.1
• 字数: 2513字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9590.2006.01.020

摘要

采用Sol-Gel法在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、可导电的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜.利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征.研究结果表明:所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构表面平整、致密.通过标准四探针法测定了Al3+离子掺杂的ZnO电阻率,证实了薄膜的导电性.实验发现,当离子掺杂浓度为1.5%,前处理温度为300℃,退火温度为600℃,薄膜的质量最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛钰芝	大连交通大学环境科学与工程学院	31	128	6.0	9.0
2	王炜	大连交通大学环境科学与工程学院	22	105	7.0	9.0
3	董晓刚	大连交通大学环境科学与工程学院	3	19	3.0	3.0
4	沈长斌	大连交通大学环境科学与工程学院	40	207	9.0	12.0
5	孙贤盛	大连交通大学环境科学与工程学院	1	3	1.0	1.0